Скоро при производстве любых полупроводниковых чипов
литографию может заменить нанотехнологический процесс самосборки, в
котором задействована микроволновая печь,
При помощи микроволн ученые из Канадского Национального института
нанотехнологий (NINT) и Университета Альберта существенно сократили
время подготовки молекулярного процесса, который предназначен для сборки
блок-сополимеров. Этот процесс стал удачной альтернативой традиционной
литографии при структурировании полупроводников.
Замена конвективной теплоты микроволновой печью стимулировала
наночастицы очень быстро самоорганизовываться в регулярные структуры,
сократив время процесса от нескольких дней до меньше минуты.
С помощью метода блок-сополимеров, управляющего наноматериалами при
создании и заполнении форм, можно создавать очень детализированные
структуры намного меньшего размера, чем позволяет современная
технология. Раньше для самоорганизации молекул требовалось слишком много
времени, чтобы этот механизм мог быть использован в промышленности.
Смена источника тепла привела к тому, что длительность обработки
предложенной структуры составила около 4 минут.
«Это один из первых образцов процесса самосборки, который призван
решить общемировую проблему полупроводниковой индустрии, - сказала
доктор Джиллиан Буриак (Jillian Buriak). – Технология у нас уже есть,
следующим шагом будет ее полезное использование».
